![15[1]_0015_VMZ高精度影像儀.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0015VMZgaojingduyingxiangyi.png)
![15[1]_0025_TB1500.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0025TB1500.png)
![15[1]_0024_DaVinci-G5.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0024DaVinciG5.png)
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![15[1]_0023_MT270.png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0023MT270-785.png)
![15[1]_0003_扁線(xiàn)電機定子生產(chǎn)線(xiàn).png](/Public/Uploads/uploadfile/images/20250509/15[1]0003bianxiandianjidingzishengchanxian.png)
光罩的量測與檢測
行業(yè)挑戰
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01單缺陷連鎖放大風(fēng)險：光罩存在任一缺陷，都會(huì )批量復制至上千篇晶圓，相比晶圓缺陷，對成品良率造成的影響更為嚴重
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02
大尺寸高密度檢測要求嚴苛：掩模版型尺寸大、線(xiàn)路圖案排布密集，檢測設備需具備高靈敏度與高缺陷捕獲能力
解決方案
隨著(zhù)半導體制程精度持續升級，行業(yè)對光罩 CD 關(guān)鍵尺寸量測的重復性、穩定性，以及微小缺陷的檢出能力提出了極致要求。天準針對光罩制程打造覆蓋 CD 量測與缺陷檢測的一體化解決方案，覆蓋關(guān)鍵尺寸量測、缺陷檢測全流程，適配高端光罩智能化、潔凈化量產(chǎn)需求。
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CD 量測端：MT270UV 依托 UV 光學(xué)檢測能力，可完成 9 寸及以下光罩的高精度尺寸量測，CD 量測重復性可達 1.5 nm；DaVinci 270UV 為全封閉全自動(dòng)機型。
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缺陷檢測端：SPECTOR（SPECTOR-M/A/5500）專(zhuān)注于光罩缺陷檢測，支持 die-to-die 比對或標準圖像比對，可穩定檢出 0.8 μm 以上缺陷，最大可兼容 14 寸大尺寸光罩檢測。CD 量測重復性?xún)?yōu)于 2 nm，典型值優(yōu)于 1 nm，檢測精度優(yōu)異。同時(shí)配備 SMIF、SECS/GEM 協(xié)議及全自動(dòng)搬運，滿(mǎn)足潔凈環(huán)境智能化制造需求。
方案優(yōu)勢
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高精度量測：CD 量測重復性低至 1 nm
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靈活易用：具備 GDS 功能，免 Recipe 缺陷比對，支持 SMIF 與全自動(dòng)搬運
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成熟穩定可靠：低 COO、易維護、無(wú)短周期消耗品，長(cháng)期穩定
