產(chǎn)品特點(diǎn)
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優(yōu)異的結構設計
CAE 輔助設計分析,減少結構設計的偏差,提高結構的穩定性,保證精度的長(cháng)期穩定
高剛性高性能氣浮導向,無(wú)摩擦無(wú)磨損,三軸均采用四面環(huán)抱式設計,具備氣浮壓力監測功能,有效確保穩定性
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極致的穩定性
關(guān)鍵結構部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移動(dòng)橋在質(zhì)量更輕的同時(shí),具備更高剛性與更低溫度線(xiàn)膨脹性能,極大提高了精度與長(cháng)期可靠性
三軸采用超低線(xiàn)溫度線(xiàn)膨脹系數光柵尺,對溫度變化不敏感,有效提高整機的精度
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安全性
Z軸采用平衡氣缸氣動(dòng)邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制,可在緊急情況下確保探測系統的安全
全包圍覆蓋框架設計,保障使用安全性,降低維護成本
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自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線(xiàn)電機驅動(dòng)搭配 TCC 自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國PTB最高等級 Class 1(0.1微米、0.1角秒)認證
可搭配 HSP 固定掃描測頭、CSP緊湊型掃描測頭
可搭配 TR50 旋轉測座
產(chǎn)品參數
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CMU686
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CMU8106
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CMU10128
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CMU10158
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CMU10208
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CMU121510
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CMU122010
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CMU152012
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CMU152512
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CMU153012
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行程范圍 (mm)
600×800×600
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外形尺寸 (mm)
1330×1460×2810
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重量 (kg)
1500
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行程范圍 (mm)
800×1000×600
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外形尺寸 (mm)
1530×1660×2810
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重量 (kg)
1960
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行程范圍 (mm)
1000×1200×800
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外形尺寸 (mm)
1730 x 1860×3160
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重量 (kg)
2500
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行程范圍 (mm)
1000×1500×800
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外形尺寸 (mm)
1730×2160×3160
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重量 (kg)
3100
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行程范圍 (mm)
1000×2000×800
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外形尺寸 (mm)
1730×2660×3160
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重量 (kg)
4000
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行程范圍 (mm)
1200×1500×1000
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外形尺寸 (mm)
2300×2940×3640
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重量 (kg)
5000
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行程范圍 (mm)
1200×2000×1000
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外形尺寸 (mm)
2300×3440×3640
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重量 (kg)
6000
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行程范圍 (mm)
1500×2000×1200
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外形尺寸 (mm)
2600×3440×3940
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重量 (kg)
8000
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行程范圍 (mm)
1500×2500×1200
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外形尺寸 (mm)
2600×3940×3940
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重量 (kg)
9500
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行程范圍 (mm)
1500×3000×1200
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外形尺寸 (mm)
2600×4440×3940
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重量 (kg)
11000
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