DaVinci 套刻誤差精密量測系統

?向先進(jìn)晶圓制造的高精度 Overlay 量測平臺

DaVinci 系列是專(zhuān)為半導體晶圓制造流程中套刻誤差（overlay）量測設計的高精度量測系統，采用創(chuàng )新的結構框架與全自動(dòng)化操作架構，提供穩定可靠、精度達亞納米級的套刻誤差量測能力。 

系統特別面向 foundry 客戶(hù)的高階工藝需求，結合人機友好的軟件界面、自動(dòng)化配方（recipe）生成與優(yōu)化功能，極大簡(jiǎn)化操作流程，提升測量效率與?致性。同時(shí)，系統內建標準 SECS/GEM 通訊協(xié)議，確保與 fab 自動(dòng)化系統無(wú)縫集成，支持量產(chǎn)環(huán)境下的高通量需求。